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從傳統(tǒng)上講,射頻探針的接觸是用鈹(beryllium)-銅(BeCu)制作的。而且人們最早采用射頻探針技術(shù)與今天的工具是很不相同的,之后工程師在探針技術(shù)上取得了突破,才確定了射頻探針的基本要求和工作原理。